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AMC對當前的IC生產其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只要確定粒徑及個數,但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設備、工藝材料及園片傳送系統等的影響,更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物,而園片加工工序當前已多于3多個獨立工序,對AMC控制指標的確定更是復雜。IC生產對AMC的控制,對不同的產品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求,對各種污染物質的要求當前總的說法是控制在亞pptm~1pptm間。
隨著科學技術的進步,20世紀80年代以來,有4種軟電離技術產生,分別為等離子體解吸(PD-MS)、快原子轟擊(FAB )、電噴霧(ESI )和基質輔助激光解吸/電離(MALDI)。
等離子體解吸的原理是:采用放射性同位素的核裂變碎片作為初級粒子轟擊樣品使其電離,樣品以適當溶劑溶解后涂布于0.5-1µm 厚的鋁或鎳箔上,核裂變碎片從背面穿過金屬箔,把大量能量傳遞給樣品分子,使其解吸電離。在制備樣品時,采用硝化纖維素作為底物使得PD-MS 可用以分析分子量高達14 000 的多肽和蛋白質樣品。
江門二手島津多少錢V型混合機的使用方法,在帶料運行的情況下首先打開混料機投料口,并確認放料口是否關閉,按工藝控制要求對V型料斗內投入規定量的物料。投料完畢,為了防止混料時物料流出所以要關閉投料口并鎖緊。接下來就是機器工作的時間,接通電源按鈕,將停止按鈕向左旋轉,啟動混料機的反轉按鈕,調節電機轉速在工藝規定的轉速內產品要6r/min進行混料。在混料到達工藝規定的時間后,通過調節電機轉速按鈕進行停機,停機時應使混料機放料口正對地面,并將調節電機轉速按鈕調到位V型混合機將停止按鈕向右旋轉,切斷電源。
快原子轟擊的原理是,一束高能粒子,如氬、氙原子,射向存在于液態基質中的樣品分子而得到樣品離子,這樣可以得到提供分子量信息的準分子離子峰和提供化合物結構信息的碎片峰。快原子轟擊操作方便、靈敏度高、能在較長時間里獲得穩定離子流。當用于絕大多數生物體中寡糖及其衍生物的分析時,可測分子量達6000。而且在該質量范圍內,其靈敏度遠高于在15000 范圍
質譜儀
內新一代全加速儀器的靈敏度。此外,Camim 等采用FAB-MS 分析從Hafnia alvei中得到的四個寡糖組分,檢測到了NMR 不能觀測到的寡糖、并揭示了寡糖結構的非均一性。
電噴霧電離的原理是:噴霧器頂端施加一個電場給微滴提供凈電荷;在高電場下,液滴表面產生高的電應力,使表面被破壞產生微滴;荷電微滴中溶劑的蒸發;微滴表面的離子“蒸發"到氣相中,進入質譜儀。為了降低微滴的表面能,加熱至200~250℃,可使噴霧效率提高。FAB-MS 可以顯示碎片離子,但只能產生單電荷離子,因此不適用于分析分子量超過分析器質量范圍的分子。ESI 可以產生多電荷離子,每一個都有準確的小m/z 值。此外還可以產生多電荷母離子的子離子,這樣就可以產生比單電荷離子的子離子更多的結構信息。而且,ESI-MS 可以補充或增強由FAB 獲得的信息,即使是小分子也是如此。
FBH系列閉式冷卻塔(橫流、復合流)工作原理工作流體(水、油或其他液體)在盤管中流動,盤管外壁被噴淋水包裹,流體的熱量通過管壁傳遞,與水和空氣形成飽和濕熱蒸汽,熱量由風機排入大氣,水分被擋回集水槽循環噴淋,噴淋水在循環的過程中通過PVC散熱片降低水溫,與新鮮入風形成風水同向流動,盤管主要依靠顯熱熱傳導方式,這樣的運行原理的重要特點就是大可能盤管外壁的水垢生成。特別適用于高溫流體(8以上)或冷卻溫差較大(6-35)的流體冷卻。
質譜儀
基質輔助激光解吸離子化質譜(Matrix-assisted laser desorption ionization mass spectrometry,MALDI-MS) 是20世紀80 年代末問世并迅速發展起來的質譜分析技術。這種離子化方式產生的離子常用飛行時間(time of flight,TOF)檢測器檢測,因此MALDI常與TOF一起稱為基質輔助激光解吸離子化飛行時間質譜(MALDI-TOF-MS)。MALDI-TOF-MS技術,使傳統的主要用于小分子物質研究的質譜技術發生了革命性的變革,從此邁入生物質譜技術發展新時代。該技術的特點是采用被稱為“軟電離"方式,一般產生穩定分子離子,因而是測定生物大分子分子量的有效方法,廣泛地運用于生物化學,尤其對蛋白質、核酸的分析研究已經取得了突破性進展。MALDI-MS 在糖研究中的應用,也顯示出一定的潛力和應用前景。另外在高分子化學、有機化學、金屬有機化學、藥學等領域也顯示出*的潛力和應用前景,已經成為廣大科技工作者研究于分析大分子分子質量、純度、結構的理想工具。其廣泛應用于生物化學領域,
下面講到的原理都是一變頻器拖動多馬達的系統。PID控制原理根據反饋原理:要想維持一個物理量不變或基本不變,就應該引這個物理量與恒值比較,形成閉環系統。我們要想保持水壓的恒定,因此就必須引入水壓反饋值與給定值比較,從而形成閉環系統。但被控制的系統特點是非線性、大慣性的系統,現在控制和PID相結合的方法,在壓力波動較大時使用模糊控制,以加快響應速度;在壓力范圍較小時采用PID來保持靜態精度。這通過PLC加智能儀表可時現該算法,同時對PLC的編程來時現泵的工頻與變頻之間的切換。